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硅烷
更新時間:2018-11-03 12:11:35 字號:T|T


硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更******的硅氫化合物。目前應用***多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業, 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上******的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用于制造******陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它特有的自燃、******性而著稱。硅烷有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量,決定了它是一種高危險性的氣體。
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